温度范围

发 烟 硫 酸: 20 -250°C /发 烟 硝 酸: 20 - 90C混酸: 20 - 100c/ 混酸(专利): 10 -100C ( 选购)

如果客户铜线小于0.8MIL以下时，RKD ETCH Decap可升级为ETCH CU，拥有USA专利的低温冷却系统，混酸zui低可达10C(选项)。

抽酸流量

1-6 ml / minute

RKD ETCH 流量范围大，速度更快。

蚀刻头组件

固定式碳化硅(保固2年)

RKD ETCH 保固2年。

N2气体支持

2.0 lpm (安全盖子+泵)60-70psi

RKD ETCH更节省N2气体。采用自动高低压气体转换系统和安全盖内部安全气压补充。不会有CHECK COVER报警。

安全

1、自动显示错误信息。

2、EMO紧急停止按扭。

3、漏酸侦测在设备内部和瓶子BOX里

4、采用光纤感应盖子的密合度(不是耗材)

5、所有管路一体化设计，双层保护套，并且酸瓶盒配有盖子

EMO紧急停止按扭漏酸光纤侦测在设备内部和瓶子BOX里.管路双层保护套，酸瓶盒配有盖子，只有Sesame 707拥有，更安全设计。

废酸瓶

3个

RKD ETCH新设计的退酸冷却系统，可将废酸退入一个瓶子，从而减少了一个退酸阀件的耗材和保养。

固定样品方式

盖子盖下以后，自动从上到下，直接固定样品

固定样品时，样品不会向前少量滑动。定位比较准确。

密封圈

圆型(不是耗材)

密封圈是圆型设计，密度高，无须更换

操作方式

可在通风柜外手持式操作 (更安全)

操作和机台是分体式的。较不易被酸侵蚀。

保修期

整机保固一年/蚀刻头保修2年/微量泵保修5年

保修期更长。

自动酸清洗选项

0-20秒(可选择硫酸，硝酸，混酸清洗或不清洗）

可混酸清洗是RKD ETCH 的一个特别设计。可用在铜线的应用。

安全证明

CE 、SEMI S3-93 、SEMI S2000 、ROHS

RKD ETCH 是更符合世界安全标准。

开封垫圈

1套

可共用

蚀刻方式

脉冲式和互惠式

只有RKD ETCH的独特设计，在操作脉冲式，互惠式或自动酸洗时，可以做相应的参数调整。采用新型泵，速度快30%